產品特性：

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減振器測試報告：TK1X

減振器測試報告：TK1Y

減振器測試報告：TK1Z









THS3高端型減振器使用萬向球式設計的水平減振器，能夠使固有頻率更低，所以垂直和水平方向的減振性能更好。
將精密(士0.05mm)調平閥安置在減振器上，可達到較高的重復性精密度。
在THS3系列減振器均可配外置型油阻尼，搭載運動平臺的設備穩定時間得以縮短，減振器剛性提升。




Product introduction

Multi-directional ball-type design makes the natural frequency of the vibration isolation system lower,thus results in better performance in both vertical and horizontal direction.

For better repeatability, precision leveling valves of 0.05mm should be installed.

THS3 series can be used with external oil damper, it will shorten the settling time of the moving platform and increase the stiffness of the system.

產品結構說明：

固有頻率：垂直/水平=1.5-2Hz
10Hz減振率：90-99%
自動調整水平:是
調整水平重復性：1、標準調整精度±1.0mm  2、高精度調整精度±0.05mm

Isolation type: pneumatic
Natural frequency: horizontal/vertical =1.5-2Hz
Isolation performance: 90-99% at 10Hz
Automatic leveling: Yes

產品用途：

面板設備、光學設備、檢測設備、半導體設備、醫療設備、航天軍工設備、精密運動平臺等。

The panel industry, optical equipment, testing equipment, semi-conductor equipment, medical equipment, aerospace and military equipment, precision moving platform.

應用案例