產(chǎn)品特性：

三思減振THA系列主動減振器主要應(yīng)用于一些對微振敏感的高端檢測設(shè)備，針對于AFM和SEM而開發(fā)的高端主動減振器。

高端儀器在進(jìn)行高倍率的圖像處理和精密設(shè)備需要達(dá)到納米級精度時，都需要對微振進(jìn)行一個有效的抑制，三思的6自由度主動減振就是一個很好的選擇，并能根據(jù)不同環(huán)境和工況的需求，提供有效的解決方案。



產(chǎn)品特點：

·輕巧便捷，安裝方便，無需氣源，接入電源即可使用
·手動/自動調(diào)節(jié)水平，操作簡便
·6自由度振動信號實時檢測，執(zhí)行器提供推力，主動衰減振幅

·實時監(jiān)控臺面振動

產(chǎn)品應(yīng)用：

顯微鏡、光學(xué)設(shè)備、檢測設(shè)備等

傳遞率







規(guī)格參數(shù)








產(chǎn)品特點：

·THA2系列氣浮式主動減振，針對掃描電鏡、透射電鏡、掃描隧道顯微鏡等超精密設(shè)備而研發(fā)
·采用三思高端型氣浮減振器進(jìn)行基礎(chǔ)隔振，即使在安裝現(xiàn)場環(huán)境有不規(guī)律的沖擊振動時，也能確保持續(xù)的振動穩(wěn)定性

·三思自研的THA主動減振系統(tǒng)，實現(xiàn)6自由度主動減振。前饋控制技術(shù)與反饋控制相結(jié)合，在低頻范圍提供出色的隔振效果

·可選電控自動調(diào)平系統(tǒng)或機(jī)械調(diào)平系統(tǒng)，自動調(diào)整水平，一鍵啟動減振

產(chǎn)品應(yīng)用：

顯微鏡、光學(xué)設(shè)備、檢測設(shè)備等

傳遞率



規(guī)格參數(shù)

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)說明：

產(chǎn)品特性

1. 安裝方便，無需氣源，接入電源即可使用；

2. 手動調(diào)節(jié)水平，操作簡便；

3. 模塊化的主動減振器，可根據(jù)設(shè)備重量和尺寸，制作成各種平臺；

4. 6自由度振動信號實時檢測，執(zhí)行器提供推力，主動衰減振幅；

5. 實時監(jiān)控臺面振動。

產(chǎn)品應(yīng)用

顯微鏡、光學(xué)設(shè)備、檢測設(shè)備等

產(chǎn)品特性

1. THA3系列氣浮式主動減振，為光刻機(jī)等運動平臺設(shè)備而研發(fā)，消減大質(zhì)量滑塊運動帶來的振動；

2. 采用三思高端型氣浮減振器進(jìn)行基礎(chǔ)隔振，即使在安裝現(xiàn)場環(huán)境有不規(guī)律的沖擊振動時，也能確保持續(xù)的振動穩(wěn)定性；

3.三思自研的THA主動減振系統(tǒng)，實現(xiàn)6自由度主動減振。地面振動前饋與反饋控制相結(jié)合，提供出色的隔振效果；；

4. 運動前饋與速度反饋控制結(jié)合，有效消減平臺運動加速度，快速穩(wěn)定平臺振動；

5. 閥控氣動調(diào)平系統(tǒng)，可自由調(diào)整各減振器高度，一鍵啟動減振。

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體設(shè)備，及高精度、高速度加速度的精密運動平臺等

產(chǎn)品用途：

顯微鏡、光學(xué)設(shè)備、檢測設(shè)備等靜態(tài)設(shè)備或微動設(shè)備