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    光學平臺使用時注意事項

    時間:2022-01-18 瀏覽量:2196

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  • 設備減振的基本概念和實現方法

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    時間:2022-01-13 瀏覽量:2896

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    時間:2022-01-11 瀏覽量:2173

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    時間:2022-01-05 瀏覽量:2698

    半導體設備是指光刻機、晶圓檢測設備等,這類設備的精度要求都非常高,對振動均非常敏感,通常需求主動減振器才能滿足要求,也有檢測類設備被動減振器即可滿足。這類設備的減振器是標配產品,減振器能抑制振對設備運行的影響,保證設備的穩定性和納米精度要求。

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