地址:廣東省深圳市寶安區福海街道塘尾富源工業區A1棟一樓東
手機:13826540336
本篇文章將為大家講解主動隔振系統是如何工作的,應用領域,以及有什么限制。由于主動隔振系統在半導體制造業的大量應用,因此得到了特別的關注。
一套復雜的光學系統是否穩定,在很大程度上取決于光學平臺和隔振腿的性能。隨著應用的不斷豐富,光學系統的設計正變得愈發復雜,也為光路穩定性帶來更大挑戰——如果安裝使用不正確,即使最完美的隔振方案也難以起到效果。
光學平臺中的重復定位精度同精密位移臺中概念不同,光學平臺的重復定位精度,是指在空載和在一定條件下加上負載并去除負載,光學平臺最終穩定后的高度差。